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Mikro- und Nanoelektronik

Prof. Dr.-Ing. Stefan Tappertzhofen

Der Lehrstuhl für Mikro- und Nanoelektronik befasst sich mit der Herstellung und Charakterisierung zukunftsweisender nanoskaliger und nieder-dimensionaler Materialien.

Um die spezifischen Merkmale unterschiedlicher Herstellungsmethoden der Halbleiter- und Mikro-/Nanotechnologie ausnutzen zu können steht dem Fachgebiet eine lehrstuhleigene CMOS-Technologie-Linie zur Verfügung, welche im Hinblick auf aktuelle Forschungsaufgaben fortlaufend ergänzt wird.

Dabei werden Erkenntnisse für die Entwicklung und Analyse innovativer Bauelemente und Schaltungskonzepte für Anwendungen in der Informationstechnik, Sensorik, Photonik und den Quantentechnologien gewonnen.

  • Erforschung multiferroischer, nanoionischer oder photonischer Phänomene
  • Herstellung und Charakterisierung neuartiger nanoskaliger und niederdimensionaler Materialien
  • Fertigung thermoelektrischer Generatoren und Kühler auf Basis neuartiger, nanostrukturierter Metalle und Halbleiter
  • Rapid Prototyping nanoskaliger Bauelemente mittels Elektronenstrahllithographie
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